序号
| 工序
| 设备分类
| 设备名称
| 设备英文名称
| 税则号列
|
1
| 基板
| 清洗
| 基板玻璃清洗机
| Washing Cleaner
| 84863094
|
2
| 蒸镀前清洗
| Pre Cleaner befor Evaportion
| 84863039
|
3
| 面板清洗机
| Panel Cleaner
| 84863041
|
4
| 基板搬运篮清洗机
| Cassette Cleaner
| 84863039
|
5
| 接触角测试仪
| Contact Angle Measuring Instrument
| 90318091
|
6
| 掩模板清洗机
| mask cleaner
| 84863039
|
7
| 封装玻璃清洗机
| ENCAPSULATION GLASS WASHING UNIT
| 84863039
|
8
| 烘炉
| 固化炉/固化机
| Oven/Baking Machine
| 84863010
|
9
| 移载、存储
| 装卸载装置
| Loader ＆ Unloader
| 84864029
|
10
| 天棚搬送装置
| OHS
| 84864029
|
11
| 机械手
| ROBOT
| 84864031
|
12
| 基板搬运车
| MGV
| 84864029
|
13
| 港湾式储存搬送装置
| Bay Stockor
| 84864029
|
14
| 成膜
| 溅射机
| Sputtering machine
| 84863039
|
15
| 等离子加强气相沉积设备
| PECVD
| 84863021
|
16
| ITO玻璃平坦化系统
| ITO Glass Planarization System
| 84863090
|
17
| 涂胶、曝光、显影
| 涂布机
| Coater
| 84863090
|
18
| 曝光机
| Exposure Machine
| 84863090
|
19
| 长尺寸测定仪
| Total Pitch
| 90134900
|
20
| 基板打标机
| Numbering M/C
| 84863090
|
21
| 显影机
| Developing Machine
| 84863090
|
22
| 照度计
| photo meter
| 90134900
|
23
| 蚀刻、离子注入、晶化 、活化、退火
| 干法蚀刻机
| Dry Etcher
| 84863039
|
24
| 湿法蚀刻机
| Wet Etcher
| 84863039
|
25
| HF蚀刻机
| HF Etcher
| 84863039
|
26
| 离子注入掺杂设备
| Ion implanter
| 84862050
|
27
| 快速退火炉
| RTA
| 84863010
|
28
| 立式数控电烘箱
| Vertical Anneal
| 84863010
|
29
| 退火炉
| Anneal M/C
| 84863010
|
30
| 晶化炉
| Crystallization
| 84861010
|
31
| 激光晶化装置
| Laser Crystallization machine
| 84861010
|
32
| 脱膜
| 干法剥离机
| Dry Stripper M/C
| 84863039
|
33
| 湿法剥离机
| Wet Stripper M/C
| 84863039
|
34
| 光学检测
| 玻璃微粒计数器
| Glass particle counter
| 90318090
|
35
| 线宽和坐标测量仪
| linewidth and coordinator Measurement System
| 90318020
|
36
| 薄膜厚度测量仪
| Thickness Meter System
| 90318090
|
37
| 纳米级测量仪
| Nano Spec
| 90318090
|
38
| 显微镜
| Microscope
| 90112000
|
39
| 基板
| 电学检测
| 阵列检查仪
| Array Test
| 90319000
|
40
| 表面阻值测量仪
| Sheet Resistance Measurement
| 90303320
|
41
| EPD终点探测系统
| EPD System
| 90275000
|
42
| 修补工序
| 激光化学气相沉积修补设备
| Array Lazer CVD Repair
| 84863090
|
43
| 阵列返修设备
| Array Repair
| 84863090
|
44
| 激光修补机
| Laser Repair Machine
| 84561001
|
45
| 面板
| 蒸镀
| 蒸镀机
| Evaporation Unit
| 84863090
|
46
| 掩模板张紧机
| Mask Tension Machine
| 84864010
|
47
| 有机材料提纯机
| Organic Materials Sublimation Machine
| 84863090
|
48
| 氦质谱检漏仪
| Helium Leak Detector
| 90278011
|
49
| 低温泵
| Cryo pump
| 84141000
|
50
| 干泵
| dry pump
| 84141000
|
51
| 等离子清洗机
| Plasma cleaner
| 84863090
|
52
| 对位检查装置
| Alignment Inspection
| 84863090
|
53
| 封装
| 封装机
| Encapsulation Unit
| 84863090
|
54
| 点胶机
| Epoxy coating machine
| 84863090
|
55
| frit激光固化机
| Laser frit solidifying machine
| 84863090
|
56
| frit丝印机
| Frit screen printing machine
| 84863090
|
57
| CVD封装机
| CVD encapsulation machine
| 84863090
|
58
| 贴合机
| asembly
| 84863090
|
59
| 手套箱
| Glove Box
| 84863090
|
60
| 紫外线固化机
| UV Lamp M/C
| 84863010
|
61
| 老练、模组
| 老练
| 老化设备
| Aging Equipment
| 85437099
|
62
| 点亮检查设备
| Inspection set
| 85437099
|
63
| 漏电检查装置
| Leakage Current Check Set
| 90303900
|
64
| 模组
| 玻璃基板切割机
| Glass plate scribing machine
| 84649011
|
65
| 玻璃裂片机
| Glass Break Machine
| 84861030
|
66
| 玻璃磨边机
| Glass edge grind machine
| 84861020
|
67
| ACF 贴付机
| ACF Bonding Machine
| 84798962
|
68
| 绑定机（COG\COF\FOG）
| Bonding Machine
| 84798090
|
69
| 偏光片裁切机
| Polarizer Cutting Machine
| 84863090
|
70
| 偏光片清洗机
| Polarizer Cleaner
| 84863090
|
71
| 偏光片贴片机
| Polarizer Attaching Machine
| 84798962
|
72
| I-V-L 测量机
| I-V-L Measuring Machine
| 90318090
|
73
| 静电检测系统
| Static Monitoring Sys
| 90302090
|
74
| 化学品、气体装置
| 化学品、气体
| 尾气处理
| Gas Scrubber
| 84863090
|
75
| 气体传感器
| Gas Senser
| 90271000
|
76
| 气体吸附处理柱
| Gas adsorption pillar
| 84863090
|
77
| 气体纯化设备
| Gas purifier
| 84863090
|
78
| 特气控制柜VMB
| special gas controlling system
| 84863090
|
79
| 特药供给控制系统
| special chemical control system
| 84863090
|
80
| 药液浓度管理装置
| Chemical supply systyem
| 84863090
|
81
| 检测
| 分析检测仪
| 辉度计
| Luminance Meter
| 90318090
|
82
| EPM电学特性测量设备
| EPM Prober
| 90121000
|
83
| R-DC（残留直流电压）测量仪
| R-DC Measure.
| 90303900
|
84
| 信号发生器
| Signal Generator
| 85431000
|
85
| 浊度计（haze测定机）
| haze tester
| 90278099
|
86
| CNC自动影像测量仪
| CNC Image Measuring Machine
| 90318090
|
87
| 扫描电镜
| SEM
| 90121000
|
88
| x射线衍射仪
| X-RAY DETECTOR（XRD）
| 90221990
|
89
| RAMAN光谱仪
| RAMAN spectrometer
| 90273000
|
90
| 聚焦离子束
| FIB
| 90121000
|
91
| 半导体参数分析仪
| Semiconductor Parameter Analyzer
| 90308200
|
92
| 饱和蒸汽试验机
| PCT
| 90262090
|
93
| 薄膜应力测量系统
| Stress Gauge
| 90314100
|
94
| 低漏电开关仪
| Low Leakage Switch Mainframe
| 90308200
|
95
| 低阻测量仪
| Measurement for Low Resistance
| 90303320
|
96
| 多功能测试仪
| Multi Function Tester
| 85437099
|
97
| 多通道光电探测器
| Multichannel PhotoDetector
| 90318090
|
98
| 复丽叶变换-红外光谱仪
| FT-IR
| 90273000
|
99
| 高加速应力试验机
| HALT Tester
| 90241090
|
100
| 高精度阻抗分析仪
| Precision Impedance Analyzer
| 90303320
|
101
| 高灵敏度摄像仪
| High Sensitivity Camera
| 90154000
|
102
| 高效液相色谱仪
| High Performance Liquid Chromatography （HPLC）
| 90272012
|
103
| 函数发生器
| Function Generator
| 85044099
|
104
| 宏观缺陷检查机
| MAC/MIC
| 90318090
|
105
| 基板测试机
| Probe Station
| 90308990
|
106
| 激光功率测量器
| Laser Power Meter
| 90275000
|
107
| 抗张强度测定机
| Tensile Strength Tester
| 90248000
|
108
| 拉力测试机台
| Push Pull Force Gages
| 90248000
|
109
| 亮度对比度测试装置
| Integral（Contrast/Uniformity） M/C
| 90318090
|
110
| 亮度/波长分析仪
| Brightness/Wavelength Analysis
| 90278099
|
111
| 数据采集器
| Data Acquisition/Switch Unit
| 90308990
|
112
| 探针式表面轮廓仪
| Stylus Type Surface Profiler
| 90318090
|
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