编号

产品名称

类别

主要技术指标

需突破的关键技术

12.1

集成电路关键装备

（另行制定）

（另行制定）

12.2

光伏设备

12.2.1

超大尺寸超导磁场单晶硅炉

I

1、主炉室直径：Φ1350；

2、拉制晶体直径：12～18英寸；

3、装料量：≥300kg；

4、热场尺寸：30〞～32〞；

1、大尺寸热场温度控制稳定性技术；

2、超导磁场引入技术；

3、智能控制技术。

12.2.2

吨级单晶硅铸锭炉

I

1、单炉投料量：800kg～1200kg；

2、坩埚尺寸≥1050*1050*540mm；

3、可开方为≥36块小方锭；

4、一、二、三类类单晶成品率70%以上；

1、先进控制技术；

2、先进的定向结晶控制工艺，对热场温度横向均匀性控制及垂直梯度控制技术；

12.2.3

大容量多晶铸锭炉

铸锭尺寸：840×840×275（mm） ；

铸锭时间：≤60小时；

冷态真空：≤0.5Pa。

热场分控技术；

定向凝固技术。

12.2.3

硅片切割设备

I

太阳能电池硅片多线切割设备　　　 技术指标：
　　最大加工外形尺寸：156×156×500（mm）4根
　　方片： 210×210×500（mm）2根
　　直径：φ160×500（mm）4根
　　使用线径φ0.1mm～0.16mm

主辊直径φ300 mm，长度520 mm
　　线速最大18m/s
　　工作台快速返回速度 0～500mm/min
　　工作台切割速度 0～9mm/min

1、整机系统集成技术及多线切割设备产业化生产、制造、工艺等关键技术；
　　2、水冷却，气密封精密主轴的设计制造技术；
　　3、精密主辊的设计制造技术；
　　4、双工作台低速进给变速切割控制技术；
　　5、线张力自动控制技术；
　　6、砂浆恒温控制技术；
　　7、整机及单元智能控制技术；
　　8、液压自动卸线技术；　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　9、断电断线检测及保护技术。

12.2.4

多晶槽式制绒设备

I

可处理硅片尺寸：125mm×125mm　　　　　　　　　　　 156mm×156mm
　　可处理硅片厚度：≥150μm
　　制绒工艺温度：4-12℃±0.5℃
　　设计产能：6000片/小时（四通道）　　3000片/小时（双通道）

1、批量多晶硅电池片在酸腐蚀环境下的精确温度控制技术；
　　2、分步式制绒概念的物化设计；
　　3、制绒液温度、浓度与生产批次的关系研究；
　　4、“设备＋工艺”模式的规模化应用技术。

12.2.5

全自动扩散炉

I

可处理硅片尺寸：125X125mm，156X156mm；装片量：400～500片/管；设备管数：1～5管；

单机自动化技术

高方阻工艺等。

12.2.6

自动管式PECVD

I

可处理硅片尺寸：

　　125X125mm，156X156mm；

装片量：

　　252片、280片/125X125mm/管；

　　216片、240片/156X156mm/管；

设备管数：1～4管；

单机自动化技术

12.3

发光二极管设备（LED）

12.3.1

蓝宝石晶体生长炉

I

1、投料量：150kg；

2、晶体生长方法：泡生法；

3、转速：0.1～20mm/min；

4、提升：0.1～10mm/min；

5、加热方式：电阻加热器。

1、大尺寸及大投料量蓝宝石晶体生长技术；

2、有利于大尺寸晶体生长的热场分布技术；

3、晶体生长控制系统的全自动化技术；

4、超低含量钛杂质的蓝宝石晶体生长技术。

12.3.2

金刚石多线切割机

I

1、　工作台尺寸：150mm

　　　L100mm（宽）100mm（高）　　　　　　　2、金刚线进给速度：

　　　最大　　60mm/min

　　　最小　0.03mm/min　　　　　　　　　　　　　　3、最大容线量：45km　　　　　　　　　　　　　　　4、最大线速：600m/min　　　　　　　　　　　　　　5、最大摇摆角度：6º　　

1、金刚石线张力控制系统设计技术；

2、金刚石线在线轴上的排线控制系统设计技术；

3、槽轮向下进给速度的精确控制系统设计技术；

4、槽轮摇摆速度的精确控制技术；

5、“金刚石线”制造技术。

12.3.3

高亮度发光二极管有机金属化学汽相沉积系统（MOCVD）

I

容量＞50片/炉 （2英寸）

GaN膜厚均匀性＜5%

GaN生长速率＞2微米/小时

InGaN中In组分均匀性＜1%

1、中温到高温范围温度均匀性控制技术；

2、气体组分均匀性控制技术；

3、复杂反应腔整体可靠性、重复性控制技术。

12.3.4

LED自动划片机

I

50-150mm，步进精度优于0.003mm

智能控制技术

12.3.5

LED粘片机

I

粘片速度≥12000只/小时；

装片精度≤±38μm。

高速高精度对准技术

12.3.6

LED等离子刻蚀机

I

装载容量＞20片/炉（2英寸）

刻蚀速率GaN＞120nm/分钟

蓝宝石＞60nm/分钟

刻蚀均匀性＜5%

蓝宝石衬底刻蚀速度及均匀性控制技术

12.4

TFT-LCD设备

I

12.4.1

液晶显示用玻璃基板成套生产设备

I

可用于生产6代及以上的玻璃基板，基板尺寸1500×1850mm以上

12.4.2

CELL摩擦机

I

适合6代及以上生产线，基板尺寸1500×1850mm

高可靠性和运转稳定性技术研究

12.4.3

Panel贴片机

I

适合6代及以上生产线，贴附精度：±0.05mm

CCD对位识别系统，设备工作的高可靠性和运转稳定性技术

12.4.4

LCM成套生产设备

I

适合6代及以上生产线，基板尺寸1500×1850mm

高可靠性和运转稳定性技术

编号

产品名称

类别

主要技术指标

需突破的关键技术

14.1

高档数控机床（（另行制定））

14.2

复合材料制备装备

14.2.1

全电动智能化塑料注射成型机（微型）

　I

1、合模力：400～5500 kN；

2、注射容量：19～3000 cm3；

3、塑化能力：3.8～70 g/s；

4、能耗：≤0.30 kW?h /kg制品（Ⅰ级节能指标）；

5、制品重量重复精度：≤0.06%（精密级）。

1、专用高性能伺服电机与伺服驱动器技术；

2、专用传动部件；　　　

3、专用高速数字通讯电脑控制技术；　　　

4、呼吸式射出压缩技术。

14.2.2

大型超大注射量塑料注射成型机

　I

1、合模力：1000～8000 kN；

2、注射量：3500～160000 g；

3、能耗：≤0.4 kW?h /kg制品；

4、精度：

　　 合模位重复精度＜0.5 mm；

　　 注射位置重复精度＜0.5 mm。

1、高性能伺服电机与驱动技术；

2、智能化控制技术。　　　　　　　　　　　　　　

14.2.3

汽车用多层塑料燃油箱塑料挤出中空成型机

　I

1、多层燃油箱层数：6层；
　　2、产量≥400㎏/h；
　　3、制品生产率≥30个/h。

1、共挤机头的设计；

2、失重式称重系统技术；

3、挤出机系统的研制。

14.2.4

丁基橡胶后处理生产线

　I

1、机组生产能力：5万吨/年；

2、螺杆直径（公称）：Φ2～Φ151 mm；

3、螺杆转速：30～300 r/min；

4、连续运行时间：8000小时/年。

1、专用的组合式推力轴承组等关键零部件的设计；　　　　

2、螺杆和机筒等关键零部件的加工工艺；

3、机组的机、电、液，智能化和网络化控制系统设计和制造技术。

14.2.5

双轴取向拉伸往复式高强度经纬网生产线

　I

1、频率控制范围在0～50次/min之间任意调整；

2、网孔成型尺寸1.5～100mm在线调节；

3、产品抗拉强度达到5～15kN/m

4、生产线速度15～20m/min。

1、在线运行曲线跟踪控制系统研究；　　　

2、精密同步整线控制系统技术。

14.2.6

多层共挤纳米吹塑成套设备

　I

1、纳米成型模头最少达64层；　　　　　　　　　 2、制品厚度误差≤±3.0%；　　　　　　　　　　　3、各组分控制精度达到0.1%。

1、纳米成型模头技术；

2、静态混炼技术；

3、智能控制技术。

编号

产品名称

类别

主要技术指标

需突破的关键技术

16.1

高端单张纸多色胶印机

Ⅰ

印刷幅面：720×1050mm

印刷速度：单面印刷＞16500张/h

　　　　　双面印刷＞13000张/h

　　　　　大幅面（A0以上）印刷﹥13000张/h

套印精度：0.025

色组：4组以上

1、基于CIP4的数字化网络化的工作流程接口技术；

2、总线控制技术；

3、墨色预置及在线实时检测技术；

4、自动换版及气垫导纸技术；

5、自动套印检测反馈调控技术；

6、大于16500张/小时的，纸张幅面与厚度自动调节输纸技术。

16.2

高端卷筒纸胶印机

Ⅱ

报用

印刷幅宽：1562mm

印刷速度：150000张/h

套印精度：0.1mm

商用

　　印刷幅宽：890mm

印刷速度：7m/s

色组：双面8色

折页开本：8k、12k、16、2*32k、（16k）24k、32k

报用：

　无轴传动多任务系统技术；

　纸张张力控制系统技术；

　滚筒排列方式研究；

　三圈式轴承结构设计；

　非接触式防扩张机构研究；

　现场总线及网络技术的应用研究；

　自动接纸、分切、折页、打捆技术。

商用：

　CIP4数字接口技术；

　自动接纸和自动换版技术；

　机器故障自动诊断显示及远程诊断和调整系技术；

　全自动折页技术。

16.3

多色柔性版印刷机

Ⅱ

卫星式：

　印刷速度≥350m/min；

　印刷幅面：1050-2000mm；

　套印精度：0.1mm；

机组式：

　印刷速度≥150m/min；

　套印精度：0.1mm。

1、套筒式印版滚筒和网纹辊的结构优化技术；

2、电子轴驱动系统技术的应用；

3、模块化、智能化控制管理系统；

4、水性油墨应用技术；

5、新型热风干燥系统设计技术；

6、自动给料、收料系统设计技术；

7、整机稳定性与可靠性技术。

16.4

数字印刷胶装联动线

Ⅰ

生产速度：3000本/h；

最小包本尺寸：140*120mm；

最大包本尺寸：320*250mm；

包本厚度：3-50mm；

调整时间：20s。

1、系统控制技术；

2、控制系统与机械部分接口技术；

3、在线不停机快速调整技术；

4、远程网络维护系统；

5、自动折页、配页技术；

6、自动裁切技术。

16.5

数字喷墨印刷机

I

出版印刷

印刷速度≥120m/min

印刷幅宽：470mm

分辨率：600dpi

包装、标签印刷

印刷速度≥70m/min

印刷幅宽：420mm

分辨率：1000dpi

商业广告印刷

印刷速度≥360m²/h

印刷幅宽：5000mm

分辨率：720dpi

1、喷墨打印头设计制造技术

2、喷墨控制技术；

3、纸张自动输送、接收技术。

16.6

计算机直接制版机（CTP）

Ⅰ

成像速度：30张/h

最大版材尺寸：1160*940mm

重复精度：0.025mm

分辨率：3000dpi

网点再现：1-99%

1、光鼓精密制造技术；

2、405纳米激光的驱动模块技术；

3、成像精度切换调整技术；

4、高精度多路光与光栅光阀技术；

5、图像数据高速传输及缓冲技术；

6、螺旋线校正技术。